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DQ-5
加工曲面類型
平面、球面、同軸及離軸非球面、自由曲面(選配)
加工軌跡
螺旋軌跡、光柵軌跡、迷宮軌跡(選配)
加工口徑
50-500mm
加工工件外形
圓形、橢圓形、矩形及任意多邊形
加工材料
K9(BK7) 、熔石英、ULE、微晶、硅、碳化硅、鎳磷合金等
加工精度
面形精度RMS≤5nm,表面粗糙度Ra≤1nm(超光滑液Ra≤0.3nm)
設備特點
具備多種拋光輪通過零點快換裝靈活更換, 具有超高加工效率,適合中大口徑常規(guī)非球面及自由曲面高效加工
設備配置
MRF360,MRF160,MRF80,MRF50(配備零點快換系統(tǒng),模塊間回更換時間小于30分鐘,重復定位精度優(yōu)于5μm,
單一模塊分0°與90°安裝工位分別對應螺旋軌跡、光柵軌跡)
重復定位精度優(yōu)干5um.適合批量加工.
與Satisloh、Optotech、LuphoScan等設備通用
軟件配置
SLAM
對上述加工功能均有效支持,且均可在云端實現(xiàn)遠程計算功能
應用領域
高精度鏡頭元件、超光滑元件、相位板